各行業(yè)無(wú)塵車(chē)間溫濕度規(guī)范要求（參考）
無(wú)塵車(chē)間對(duì)溫濕度的控制取決于其生產(chǎn)工藝。例如怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間，這種車(chē)間不宜超過(guò)25度，相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事/故。今天，我們來(lái)看常見(jiàn)無(wú)塵車(chē)間對(duì)溫濕度有要求的工藝。
示例 一
在精密機(jī)械加工和計(jì)量等場(chǎng)合，為了防止因熱膨脹而引起的誤差，須使工件保持一定的溫度。工件溫度的允許波動(dòng)幅度應(yīng)根據(jù)加工精度決定。例如，在恒溫室里對(duì)一根長(zhǎng)500mm的標(biāo)準(zhǔn)尺刻線(xiàn)，工藝允許線(xiàn)間公差為2um，其中l(wèi)um為尺溫變化所引起的形變誤差，另1um為加工與量測(cè)誤差。1um折合尺溫變化量＝0.20C[a為尺線(xiàn)膨脹系數(shù)，取10／um／(m?K)；l為尺長(zhǎng)，m]，故工件溫度變化需在：（）以?xún)?nèi)。但由于工件測(cè)量?jī)x器等都有一定的熱惰性，空氣溫度的波動(dòng)傳人工件后，就要衰減。在設(shè)計(jì)恒溫系統(tǒng)時(shí)，一般總是以恒定環(huán)境空氣溫度為依據(jù)，故相應(yīng)的環(huán)境溫度精度可比工件允許的溫度精度低一些。因此，在確定恒溫室參數(shù)和選擇自動(dòng)控制時(shí)，須考慮工件恒溫恒濕車(chē)間、圍護(hù)結(jié)構(gòu)、空氣處理設(shè)備和自控系統(tǒng)之間的動(dòng)態(tài)特性。
示例 二
在電子行業(yè)，制造車(chē)間是產(chǎn)生靜電的主要地方，通常靜電會(huì)對(duì)產(chǎn)品造成短路甚至?xí)斐蓡T工導(dǎo)電暈倒事/故，所以電子行業(yè)的無(wú)塵車(chē)間相對(duì)濕度不應(yīng)低于30%，這樣即可以減少靜電的產(chǎn)生，通常建議無(wú)塵車(chē)間的防靜電區(qū)域相對(duì)濕度不低于50%。過(guò)于干燥的空氣中易粉塵飛揚(yáng)，電子廠無(wú)塵車(chē)間無(wú)特殊要求的情況下，溫度控制在22 ℃ 左右，相對(duì)濕度控制在 55 ～ 60%RH 之間，在這種環(huán)境下，人們感覺(jué)舒適，靜電也消失了。
示例 三
SMT車(chē)間對(duì)溫度和濕度有明確的要求，主要是為了錫膏能工作在一個(gè)較好的環(huán)境 ，溫度會(huì)影響錫膏的活性，對(duì)于里面所添加的助焊劑的相關(guān)溶劑的活性有一定的影響。溫度高會(huì)增加其的活性，后影響絲印貼裝及回流的效果。容易出現(xiàn)虛焊，焊點(diǎn)不光澤等現(xiàn)象。 濕度的大小回引起錫膏在空氣中吸入水氣的多少，如過(guò)吸如過(guò)多水氣，會(huì)使回流時(shí)產(chǎn)生氣空，飛漸，連焊等現(xiàn)象。故SMT恒溫恒濕車(chē)間溫濕度標(biāo)準(zhǔn): 溫 度: 24±2℃ 濕 度: 50±10%。
示例 四
在生物制藥的潔凈車(chē)間中對(duì)易吸潮藥品的相對(duì)濕度要求45％ 一50％RH(夏季)，片劑等固體制劑50％ ～55％RH，水針及口/服液55％ ～65％RH 。這樣有利于更好的控制藥品的生產(chǎn)質(zhì)量。
示例 五
在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線(xiàn)性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間，這種車(chē)間不宜超過(guò)25度?！穸冗^(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事/故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。
示例 六
食品、保健品、飲料等車(chē)間對(duì)對(duì)生產(chǎn)潔凈度要求比較高，通常為10萬(wàn)級(jí)至萬(wàn)級(jí)以上，但同時(shí)車(chē)間的濕度越低越容易滋生細(xì)jun，細(xì)jun和其他生物污染,在相對(duì)濕度超過(guò)60%的環(huán)境中可以活躍地繁zhi。一些菌群在相對(duì)濕度超過(guò)30%時(shí)就可以增長(zhǎng)。在相對(duì)濕度處于40%至60%的范圍之間時(shí)，可以使細(xì)jun的影響以及呼吸道感染降至低值。
綜合以上多個(gè)行業(yè)我們總結(jié)出溫濕度對(duì)無(wú)塵車(chē)間的五大影響
1、細(xì)jun生長(zhǎng);
2、工作人員感到室溫舒適的范圍;
3、出現(xiàn)靜電荷;
4、金屬fu蝕;
5、水汽冷凝;
6、光刻的退化;
7、吸水性。
所以無(wú)塵車(chē)間的溫濕度控制由其生產(chǎn)工藝決定，但其精度同時(shí)也要看其房間的大小例如計(jì)量室、光柵刻線(xiàn)室、精密儀器制造和裝配車(chē)間等。前兩者都為小房間，空調(diào)精度(這里主要指溫濕度)要求高；后兩者為較大的生產(chǎn)車(chē)間，溫濕精度要求較低。所以其房間大小也會(huì)決定恒溫恒濕車(chē)間的精度。
